Ion implantation: equipment & techniques - proceedings of the fifth International conference on ion implantation equipment & techniques, Smugglers' Notch, Jeffersonville, VT, USA, July 23-27, 1984

Författare
R. L. Brown James F. Ziegler International conference on ion implantation equipment & techniques 1984) Jeffersonville :
(Ed.: J.F. Ziegler, R.L. Brown.)
Genre
Konferenser, Ej skönlitteratur, Konferenspublikation
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
North-Holland 1985 Nederländerna, Amsterdam 451 sidor. diagr., ill., tab.